干式真空泵的主要分类如下。干式螺杆真空泵，是使用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而发生的吸气和排气效果的抽气设备，两螺杆经精密动平衡校对，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有必定的空隙，因而泵作业时，相互之间无磨擦，作业平稳，噪音低，作业腔无需润滑油，因而，干式螺杆泵能抽除含有很多水蒸汽及少数粉尘的气体场合，真空更高，耗费功率更低，具有节能，免修理等长处。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。

无油往复真空泵靠活塞往复运动使泵腔（气缸）的作业容积周期性地改变来抽气的真空泵，又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞紧缩机类似。作业时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空枯燥和混凝土真空作业等。

爪式真空泵由多级转子构成，其间每级都有2个转子构成，两个转子反方向旋转，吸气口与泵腔接通，泵腔容积变大而吸气，当转子封闭吸气口时吸气结束，今后泵腔变小而紧缩气体，当排气口翻开后泵腔排气，排气口封闭时则排气结束，如此循环作业。

涡旋无油真空泵的涡旋盘便是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋构成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的根本抽气组织。例如在双级涡旋无油真空泵中，有两个方向对应的固定涡旋盘，一个坐落两个涡旋盘之间的滚动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动构成容积不断改变的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完结排气循环。